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        《電子技術應用》
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        羅德與施瓦茨發布在片器件測試解決方案

        2022-08-10
        來源:電子產品世界

        羅德與施瓦茨為在片器件的完整射頻性能表征提供測試解決方案,該方案結合了羅德與施瓦茨強大的R&S ZNA矢量網絡分析儀和FormFactor先進的工程探針臺系統。半導體制造商可以在產品的開發、認證和生產階段執行可靠且可重復的在片器件特性測試。 

        本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202208/437156.htm

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        整個在片測量工作由R&S ZNA矢量網絡分析儀與FormFactor SUMMIT200探針臺系統一起完成。 5G 射頻前端設計師需要確保適當的器件輸出功率和射頻帶寬,同時兼顧優化器件效率。設計流程中的一個重要階段是驗證射頻設計,盡早獲得相關設計反饋并評估DUT在晶圓級的功能和性能。在晶圓環境對 DUT特性進行測試所需的測量系統包括矢量網絡分析儀(VNA)、探針臺、RF探針、電纜或適配器、專用校準方法以及用于特定DUT或相關的校準片等。 為了滿足這些重要的測量要求,羅德與施瓦茨推出R&S ZNA高端矢量網絡分析儀,以及頻率在67 GHz以上的擴頻模塊。分析儀可表征同軸和波導級的所有射頻特性參數。FormFactor通過手動、半自動和全自動探針臺系統解決晶圓接觸問題,系統包括熱控制、高頻探針、探針定位器和校準工具等。FormFactor WinCal XE校準軟件支持整個測試系統的校準,包括對R&S ZNA的校準。 對整套測試系統進行完全校準后,用戶可以使用R&S ZNA的所有測試功能。通用S參數測試可以表征濾波器和有源器件的特性;失真、增益和交調測試可以驗證功率放大器的特性。該套聯合測試系統還可對混頻器工作帶寬內的變頻相位進行測量。經過完全校準的測試系統允許用戶直接從VNA獲得所有測試結果,無需進行后處理,因為校準數據已經直接應用于VNA之中。羅德與施瓦茨的擴頻模塊擴展至亞太赫茲頻率,例如D波段,它是目前6G研究的重點頻段。擴頻模塊集成到探針臺中,以確保最短的連接并實現理想的動態范圍,同時避免因電纜連接到探針尖部而造成的額外損耗。




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